Правильный вариант написания – раздельный, «за ними». Словосочетание состоит из предлога «за» и формой местоимения «они» в творительном падеже («ними»). По правилам русского языка предлоги с местоимениями всегда пишутся раздельно. Пример: Я долго наблюдал за ними, но ничего подозрительного не заметил.